一、電阻測試儀測試原理：
當(dāng)四根金屬探針排成一條直線,并以一 定壓力壓在半導(dǎo)體材料上時,在1, 4兩根探針間通過電流I,則2, 3探針間產(chǎn)生電位差V(如圖所示)。
根據(jù)公式可計(jì)算出材料的電阻率:
其中,C為四探針的探針系數(shù)(cm),它的大小取決于四根探針的排列方法和針距。
二、儀器操作:
(一)測試的準(zhǔn)備:
1 ,將電源插頭插入儀器背面的電源插座電源開關(guān)置于斷開位置;
2,工作方式開關(guān)置于'短路"位置電流開關(guān)處于彈出位置;
先將電源開關(guān)置于開啟位置,同量選擇開關(guān)置于“短路",出現(xiàn)數(shù)字顯示,通電預(yù)熱半小時。
3,將手動測試架的屏蔽線插頭與電=氣箱的輸入插座連接好;
4,對測試樣品進(jìn)行一定的處理(如噴沙,清潔等);
5,調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度及濕度使之達(dá)到測試要求。
(二)測試:
先將電源開關(guān)置于開啟位置測量選擇開關(guān)置于"短路" ,出現(xiàn)數(shù)字顯示，通電預(yù)熱半小時.
1,放好樣品壓下探失，將測量選擇開處置于"刻量"位置，板性開處置于開關(guān)上方;
2.選擇適當(dāng)?shù)碾妷毫砍毯碗娏髁砍?，?shù)字顯示基本為0000",著末位有數(shù)字,可旋轉(zhuǎn)調(diào)零調(diào)節(jié)能好使之顯示為0000"; .
3.將工作方式開關(guān)置于"1調(diào)節(jié)"按下電流開關(guān).資動電流調(diào)節(jié)旋鈕,使數(shù)字顯示為"1000"讀值為各電流量程的滿量程值;
4.再將性開笑壓F.便數(shù)顯也為1000+1,溫出電源開關(guān)將工作方式開關(guān)置于1或06.28處(探頭問距為1.59mm時置于1位置問距為1mm時置于6.28位置):
《師節(jié)電流后。上述步疆在以后的肉量中可不必重復(fù):只要調(diào)節(jié)好后，接下電流開關(guān),可由政顯直接讀出測量值)
5.若數(shù)顯爐滅,僅剿"1"表示超出該量程電壓值,可將電壓量理開關(guān)撥到檔位;
6,讀數(shù)后，將性開關(guān)撥至另一方,可讀出負(fù)性時的魔量值，將兩次測量值取平均數(shù)即為樣品在該處的電阻率值。
三、注意事項(xiàng):
1.壓下深頭時壓力要適中,以免想壞探針。
2.由于樣品表面電阻可松分布不均,8量時應(yīng)對一個樣品多測幾個點(diǎn)然后取平均置:
3.樣品的實(shí)際電阻率還與其厚度有關(guān),還需查時中的厚魔修正案數(shù)，進(jìn)行慘正
